کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
10641250 996610 2011 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
High-resolution parallel multipass laser interferometer with an interference fringe spacing of 15 nm
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد مواد الکترونیکی، نوری و مغناطیسی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
High-resolution parallel multipass laser interferometer with an interference fringe spacing of 15 nm
چکیده انگلیسی
► Optical interferometer with 15 nm fringe spacing. ► Parallel multipass order up to 21. ► Ultimate resolution of displacement measurement of 8.7.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optics Communications - Volume 284, Issue 5, 1 March 2011, Pages 1118-1122
نویسندگان
, , ,