کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
10668159 | 1008340 | 2011 | 8 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Optimized scratch adhesion for TiSiN coatings deposited by a combination of DC and RF sputtering
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Optimized scratch adhesion for TiSiN coatings deposited by a combination of DC and RF sputtering Optimized scratch adhesion for TiSiN coatings deposited by a combination of DC and RF sputtering](/preview/png/10668159.png)
چکیده انگلیسی
⺠TiSiN coating was deposited using a combination of direct current (DC) and radio frequency (RF) PVD magnetron sputtering. ⺠The deposition processes were conducted by utilizing an L9 Taguchi orthogonal array. ⺠Variable input parameters were optimized for achieving high scratch adhesion strength of the TiSiN coatings. ⺠Optimization resulted in an increase of the critical load from 827 mN to 1371 mN, signifying an improvement of over 65%.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 206, Issue 7, 25 December 2011, Pages 1837-1844
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 206, Issue 7, 25 December 2011, Pages 1837-1844
نویسندگان
A.R. Bushroa, H.H. Masjuki, M.R. Muhamad, B.D. Beake,