کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
10668549 | 1008373 | 2011 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Characterization of a neutral atomic hydrogen source developed in the perspective of carbon materials etching study
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Characterization of a neutral atomic hydrogen source developed in the perspective of carbon materials etching study Characterization of a neutral atomic hydrogen source developed in the perspective of carbon materials etching study](/preview/png/10668549.png)
چکیده انگلیسی
This paper deals with the characterization of an atomic hydrogen source created in a radio-frequency reactor with a helicon configuration. To achieve this purpose, optical (laser induced fluorescence) and electrical (Langmuir probe) diagnostics are used to monitor the behavior of the species composing the plasma. The influence of pressure, gas composition, and impact of the magnetic fields (in the source and diffusion chambers) are investigated.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 205, Supplement 2, 25 July 2011, Pages S384-S387
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 205, Supplement 2, 25 July 2011, Pages S384-S387
نویسندگان
T. Bieber, L. de Poucques, J.-L. Vasseur, R. Hugon, M. Belmahi, J. Bougdira,