کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
1481697 991538 2012 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Cross-contamination in single-chamber processes for thin-film silicon solar cells
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد سرامیک و کامپوزیت
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Cross-contamination in single-chamber processes for thin-film silicon solar cells
چکیده انگلیسی
► High quality thin-film solar cell for single-chamber process with in-situ treatment. ► No significant B and P cross-contamination for a 15' evacuation cycle. ► p-layer deposition strongly reduces P cross-contamination for a-Si:H and μc-Si:H.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Non-Crystalline Solids - Volume 358, Issue 17, 1 September 2012, Pages 2183-2186
نویسندگان
, , , , , , ,