کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1530700 | 1511996 | 2009 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Co-precipitation of copper and nickel in crystalline silicon
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
مواد الکترونیکی، نوری و مغناطیسی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Co-precipitation of copper and nickel in silicon bicrystals produced by wafer-bonding has been investigated. Transmission electron microscopy and energy-dispersive X-ray analysis show two types of precipitates: copper-rich silicide particles that contain a small partial mole fraction of 5% of nickel and nickel-rich particles containing a partial mole fraction between 15% and 25% of copper. Both types of precipitates are found inside large precipitate colonies typical for copper precipitation in silicon in the absence of nickel co-doping. Thermodynamically these precipitates can be assigned to the known binary metal silicide phases Cu3Si and NiSi2 and a solid solution of a second metal species therein.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Materials Science and Engineering: B - Volumes 159–160, 15 March 2009, Pages 365–368
Journal: Materials Science and Engineering: B - Volumes 159–160, 15 March 2009, Pages 365–368
نویسندگان
C. Rudolf, P. Saring, L. Stolze, M. Seibt,