کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1532995 | 1512542 | 2016 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A new method to optimize the azimuth angle of elements in a projection lens
ترجمه فارسی عنوان
یک روش جدید برای بهینه سازی زاویه عریض عناصر در یک لنز طرح ریزی
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
مواد الکترونیکی، نوری و مغناطیسی
چکیده انگلیسی
In the manufacturing process of high-precision photolithography lens, clocking of lens element is a commonly used and efficient method to compensate the surface figure error. This method obtains the optimal azimuth angles of a lens element. With complex description of the surface figure error, developing a mathematical model to optimize the azimuth angle of the element is difficult. This work expresses the surface figure error and wavefront aberration of a lens system with Zernike polynomials. Results indicate that the surface figure error is linearly correlated with the induced wavefront aberration at any point field of view. Thus, a mathematical model adopting this linear relationship is proposed to optimize the azimuth angles of a lens element. Employing the proposed mathematical model, the optimization keeps good efficiency and precision. The clocking optimization instance confirms that the mathematical model is effective for clocking optimization.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optics Communications - Volume 381, 15 December 2016, Pages 365-370
Journal: Optics Communications - Volume 381, 15 December 2016, Pages 365-370
نویسندگان
Chunlai Liu, Hongbo Shang, Yang Zhao, Ping Wang, Quansong Li, Shudong Men,