کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1535633 | 1512629 | 2013 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A precision length calibrator based on the optical zooming positioning stage
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
مواد الکترونیکی، نوری و مغناطیسی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
A sub-nanometer positioning system using a zooming interferometer and an optical comb was proposed previously. That positioning stage had a positioning resolution of 0.2Â nm and a stability of 0.6Â nm. In this paper, we describe the length calibrator that we developed by using the proposed positioning system. For the purpose of evaluating this length calibrator, the cyclic error of a roughly-aligned commercial laser interferometer was measured. This cyclic error was observed to have a magnitude of 3.5Â nm. The combined standard uncertainty was 0.7Â nm for the cyclic error measurement.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optics Communications - Volume 292, 1 April 2013, Pages 1-4
Journal: Optics Communications - Volume 292, 1 April 2013, Pages 1-4
نویسندگان
Mariko Kajima, Kaoru Minoshima,