کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1538517 | 996614 | 2011 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Optical heterodyne grating shearing interferometry for long-range positioning applications
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
مواد الکترونیکی، نوری و مغناطیسی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
We develop a displacement measurement and positioning system with nanometer resolution over the millimeter traveling range. The method is based on a heterodyne grating shearing interferometry, a homemade lock-in amplifier and a servo control loop for displacement sensing and positioning. The quasi-common optical path configuration of our system provides better immunity against environmental disturbances. The experimental results demonstrate that our system can measure small and long displacement with nanometric resolution. The device achieves a positioning resolution of 2.3 nm over a traveling range of 20 mm.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optics Communications - Volume 284, Issue 3, 1 February 2011, Pages 857–862
Journal: Optics Communications - Volume 284, Issue 3, 1 February 2011, Pages 857–862
نویسندگان
Ju-Yi Lee, Ming-Pei Lu,