کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1540148 | 1512641 | 2008 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Using a micro-molding process to fabricate polymeric wavelength filters
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
مواد الکترونیکی، نوری و مغناطیسی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
A procedure for fabricating a high aspect ratio periodic structure on a UV polymer at submicron order using holographic interferometry and molding processes is described. First, holographic interferometry using a He–Cd (325 nm) laser was used to create the master of the periodic line structure on an i-line sub-micron positive photoresist film. A 20 nm nickel thin film was then sputtered on the photoresist. The final line pattern on a UV polymer was obtained from casting against the master mold. Finally, a SU8 polymer was spun on the polymer grating to form a planar waveguide or a channel waveguide. The measurement results show that the waveguide length could be reduced for the waveguide having gratings with a high aspect ratio.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optics Communications - Volume 281, Issues 15–16, August 2008, Pages 3985–3989
Journal: Optics Communications - Volume 281, Issues 15–16, August 2008, Pages 3985–3989
نویسندگان
Wei-Ching Chuang, An-Chen Lee, Chi-Ting Ho,