کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
1542152 996712 2006 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Movement measurement with a grating interferometer using sinusoidal phase-modulation
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد مواد الکترونیکی، نوری و مغناطیسی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Movement measurement with a grating interferometer using sinusoidal phase-modulation
چکیده انگلیسی

Movements of a surface profile are measured with a two-grating interferometer using sinusoidal phase-modulation. Since sinusoidal phase-modulating (SPM) interferometry can record a phase change due to the movement of an object in the interference signal, the SPM interferometer is suitable for measuring the movement of the object. Some experiments show that the two-grating interferometer can measure a sinusoidal vibration with amplitude of several tens of microns and a step movement with a magnitude of several microns.

ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Optics Communications - Volume 267, Issue 2, 15 November 2006, Pages 341–346
نویسندگان
, , ,