کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1588796 | 1515139 | 2015 | 9 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Gentle quantitative measurement of helium density in nanobubbles in silicon by spectrum imaging
ترجمه فارسی عنوان
سنجش کمی از تراکم هلیم در نانولوله ها در سیلیکون با استفاده از تصویربرداری طیف
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
ترجمه چکیده
ما یک روش اصلی برای تعیین خواص فیزیکی حباب هلیم نانومتری با استفاده از تصویربرداری طیفی در میکروسکوپ الکترونی انتقال فیلتر شده با انرژی ارائه می دهیم. حبابهای هلیم که به وسیله ایمپلنت های فلنسون بالا ساخته می شوند و آنیلینگ حرارتی در سیلیکون بررسی می شوند. پارامترهای خرید برای بهینه سازی هر دو نسبت سیگنال / نویز و زمان تعیین می شود. محدودیت ها در میزان ناحیه های قابل مشاهده در یک نمونه نمونه توضیح داده شده است. اصلاح داده های لازم و روش های اندازه گیری موقعیت کروی هلیم دقیق و دقت روش مورد بحث قرار گرفته است. در نهایت نقشه چگالی هلیم دریافت و مورد بحث قرار می گیرد.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
دانش مواد (عمومی)
چکیده انگلیسی
We propose an original method for the determination of the physical properties of nanometer sized helium bubbles using spectrum imaging in an energy-filtered transmission electron microscope. Helium bubbles synthesized by high fluence implantation and thermal annealing in silicon are investigated. The acquisition parameters are determined to optimize both signal/noise ratio and time. The limitations to the extent of observable areas on a typical sample are explained. The necessary data correction and helium K-edge position measurement procedures are detailed and the accuracy of the method is discussed. Finally helium density maps are obtained and discussed.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Micron - Volume 77, October 2015, Pages 57-65
Journal: Micron - Volume 77, October 2015, Pages 57-65
نویسندگان
Kévin Alix, Marie-Laure David, Guillaume Lucas, Duncan T.L. Alexander, Frédéric Pailloux, Cécile Hébert, Laurent Pizzagalli,