Gentle quantitative measurement of helium density in nanobubbles in silicon by spectrum imaging

ما یک روش اصلی برای تعیین خواص فیزیکی حباب هلیم نانومتری با استفاده از تصویربرداری طیفی در میکروسکوپ الکترونی انتقال فیلتر شده با انرژی ارائه می دهیم. حبابهای هلیم که به وسیله ایمپلنت های فلنسون بالا ساخته می شوند و آنیلینگ حرارتی در سیلیکون بررسی می شوند. پارامترهای خرید برای بهینه سازی هر دو نسبت سیگنال / نویز و زمان تعیین می شود. محدودیت ها در میزان ناحیه های قابل مشاهده در یک نمونه نمونه توضیح داده شده است. اصلاح داده های لازم و روش های اندازه گیری موقعیت کروی هلیم دقیق و دقت روش مورد بحث قرار گرفته است. در نهایت نقشه چگالی هلیم دریافت و مورد بحث قرار می گیرد.