کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
1589038 1515159 2014 11 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
The fabrication of aspherical microlenses using focused ion-beam techniques
ترجمه فارسی عنوان
ساخت میکرولنس های غیرفارسی با تکنیک های پرتو یونی متمرکز
کلمات کلیدی
میکرو لنزهای کروی، ساخت میکرو، لیتوگرافی پرتوهای یونی متمرکز، اچینگ شیمیایی،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد دانش مواد (عمومی)
چکیده انگلیسی
Our technique is used to make aspheric microlenses of down to 3 μm in size, but with a potential to make lenses smaller than 1 μm.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Micron - Volume 57, February 2014, Pages 56-66
نویسندگان
, , , ,