کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1630663 | 1516678 | 2006 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Interface structure between epitaxial NiSi2 and Si
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فلزات و آلیاژها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
The interface structure between the Si and NiSi2 epitaxially grown on the (12) Si substrate was studied using high resolution transmission electron microscopy and computer image simulation. The results showed that the interface between Si and NiSi2 epitaxially grown on the (12) Si substrate has six different types: type A NiSi2 (11)/(11) Si, type A NiSi2 (001)/(001) Si, type B NiSi2 (1)/(11) Si, type B NiSi2(12)/(12) Si, type B NiSi2 (21)/(001) Si, and type B NiSi2 (1)/(10) Si. And there are one or more different atomic structures for one type of interface.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of University of Science and Technology Beijing, Mineral, Metallurgy, Material - Volume 13, Issue 6, December 2006, Pages 558-563
Journal: Journal of University of Science and Technology Beijing, Mineral, Metallurgy, Material - Volume 13, Issue 6, December 2006, Pages 558-563
نویسندگان
Wei-Long Liu, Wen-Jauh Chen, Ting-Kan Tsai, Hsun-Heng Tsai, Shu-Huei Hsieh,