کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1649913 | 1007593 | 2009 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Nanomorph silicon grown on template alumina substrate by plasma-enhanced CVD
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Novel morphology of amorphous/nanocrystalline (nanomorph) silicon has been obtained by plasma enhanced CVD using template porous alumina substrate. The growing heterogeneous Si layer is composed of nanocrystalline and amorphous distinct areas, conformal to the tipped/ribbed alumina template. Raman spectroscopy and XRD data evidence the plasma-assisted preferential growth of nanocrystalline Si bunches forming the honeycomb net and presumably amorphous Si:H areas between them.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Materials Letters - Volume 63, Issue 29, 15 December 2009, Pages 2552-2555
Journal: Materials Letters - Volume 63, Issue 29, 15 December 2009, Pages 2552-2555
نویسندگان
A. Khodin, Lee Joong-Kee, Kim Chang-Sam, Kim Sang-Ok,