کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1654401 | 1517349 | 2006 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Surface acoustic wave characteristics and electromechanical coupling coefficient of lead zirconate titanate thin films
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Lead zirconate titanate (PZT) thin films were created on ST-X quartz using radio frequency magnetron sputtering deposition. PZT films deposited on quartz are used as a new piezoelectric substrate for surface acoustic wave (SAW) devices. Microelectromechanical technique was used to fabricate interdigital transducers on the surface of the substrate to be used as a SAW delay line device. The results show that the PZT film was successfully deposited on ST-X quartz, and that the PZT film on ST-X quartz can enhance the electromechanical coupling coefficients of SAW.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Materials Letters - Volume 60, Issues 9–10, May 2006, Pages 1140–1143
Journal: Materials Letters - Volume 60, Issues 9–10, May 2006, Pages 1140–1143
نویسندگان
Yu-Jen Hsiao, Te-Hua Fang, Yen-Hwei Chang, Yee-Shin Chang, Sean Wu,