کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
1658267 1517665 2012 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Single and dual-mode plasma enhanced chemical vapor deposition of fluorinated diamond-like carbon films
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Single and dual-mode plasma enhanced chemical vapor deposition of fluorinated diamond-like carbon films
چکیده انگلیسی
► Study effect of adding MW power on properties of F-DLC films in dual-mode system ► Investigate decreasing tendency of F content of the films by adding MW plasma ► Study of F-DLC films by EDX, Raman spectroscopy, AFM, contact angle and OES
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 213, December 2012, Pages 285-290
نویسندگان
, , ,