کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1658871 | 1008362 | 2011 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Micro-patterning of Si(100) surfaces by ethanol cluster ion beams
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
Based on these results, micro-patterning with various sizes in a range of 3 μm to 100 μm was performed on the Si(100) surfaces by the ethanol cluster ion irradiation. Various kinds of photo-resist mask patterns such as circle, square and line patterns were made on a Si(100) surface by photo-resist technique. The SEM observation showed that micro-patterns were prepared on the Si (100) surface by the ethanol cluster ion irradiation.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 206, Issue 5, 25 November 2011, Pages 869-873
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 206, Issue 5, 25 November 2011, Pages 869-873
نویسندگان
Gikan H. Takaoka, Hiromichi Ryuto, Ryosuke Ozaki, Hiroshi Mukai, Mitsuaki Takeuchi,