کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1661002 | 1517694 | 2008 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Wave analysis in microwave-excited plasma reactor using MSP antenna
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
The structure of waves in a microwave-excited plasma reactor using the multi-slotted planar (MSP) antenna is investigated by experimental measurements and numerical analyses. As a result, it is shown that the radial mode number is fixed and equals to 5 in a wide range of the plasma density, and mode jumps of surface wave hardly appear. Mode jumps of surface wave cause the non-uniformity of the plasma density. Therefore, it is considered that the characteristic in the device is an advantage for controlling plasma parameters.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 202, Issues 22–23, 30 August 2008, Pages 5306–5309
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 202, Issues 22–23, 30 August 2008, Pages 5306–5309
نویسندگان
A. Tsuji, Y. Yasaka, H. Takeno,