کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1662297 | 1517696 | 2007 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Evaluation of a novel fluorine free copper (I) precursor for Cu CVD
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
A novel volatile fluorine free copper (I) precursor, (2-methyl-3,5-hexandionate)Cu(I)(bis(trimethylsilyl)acetylene), [(mhd)Cu(BTMSA)], has been synthesized by acid-base reaction and characterized. This liquid complex (mp = 13–15 °C) is quite thermally stable. Using [(mhd)Cu(BTMSA)] for copper CVD, adhesive, continuous and pure copper metallic thin films (< 1% impurity as seen by XPS) were grown on Ta/TaN/SiO2/Si substrates with an optimized growth rate of 100 nm min− 1 in the temperature interval of 175–300 °C.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 201, Issues 22–23, 25 September 2007, Pages 9066–9070
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 201, Issues 22–23, 25 September 2007, Pages 9066–9070
نویسندگان
Phong Dinh Tran, Pascal Doppelt,