کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1662768 | 1517705 | 2006 | 12 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
On the ion flux and energy gain during pulsed DC operation of an opposed target magnetron
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Based on the measured current and voltage waveforms on the cathodes and the IES at the substrate, a physical model for the ion energy and flux gain during the pulse-off time is proposed. The model is validated through analysis of the ion flux and ion flux rate at the substrate region and by space-resolved IES measurements.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 200, Issues 18â19, 8 May 2006, Pages 5306-5317
Journal: Surface and Coatings Technology - Volume 200, Issues 18â19, 8 May 2006, Pages 5306-5317
نویسندگان
Tamara Moiseev, David C. Cameron,