کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1677558 | 1518360 | 2012 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Contact detection for nanomanipulation in a scanning electron microscope
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
⺠We presents a simple method for obtaining the depth information in SEM-based nanomanipulation. ⺠Detecting contact between an end-effector and a target surface using SEM as a vision sensor. ⺠Additional touch/force sensors or specialized hardware need not be added. ⺠Achieved high repeatability and accuracy. ⺠Complete automatic contact detection within typically 60 s.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Ultramicroscopy - Volume 118, July 2012, Pages 61-66
Journal: Ultramicroscopy - Volume 118, July 2012, Pages 61-66
نویسندگان
Changhai Ru, Steve To,