کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
1677894 1009920 2011 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Low energy microcolumn for large field view inspection
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Low energy microcolumn for large field view inspection
چکیده انگلیسی
► Two types of microcolumn designs to achieve a large field of view are fabricated. ► Field of view of a microcolumn increases linearly with the working distance. ► New designed microcolumns can be developed as a low energy column system for large view inspections.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Ultramicroscopy - Volume 111, Issue 12, December 2011, Pages 1645-1649
نویسندگان
, , , , , ,