کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1677894 | 1009920 | 2011 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Low energy microcolumn for large field view inspection
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
⺠Two types of microcolumn designs to achieve a large field of view are fabricated. ⺠Field of view of a microcolumn increases linearly with the working distance. ⺠New designed microcolumns can be developed as a low energy column system for large view inspections.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Ultramicroscopy - Volume 111, Issue 12, December 2011, Pages 1645-1649
Journal: Ultramicroscopy - Volume 111, Issue 12, December 2011, Pages 1645-1649
نویسندگان
Young Chul Kim, Seung-Joon Ahn, Tae-Sik Oh, Dae-Wook Kim, Ho-Seob Kim, Won Kweon Jang,