کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1687859 | 1010688 | 2007 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Nano-scale effects of swift heavy ion irradiation in SiOx layers and multilayers
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Irradiation of SiOx layers and multilayers (0 ⩽ x ⩽ 2) with swift heavy ions gives rise to a rich variety of phenomena. These phenomena imply displacement of atoms inside the layer structure, removal of species from the material by electronic sputtering or molecule formation, the extent of which depends strongly on the x-value and irradiation parameters. Other phenomena are phase separation inside the material and modifications on the nano-scale at Si/SiOx interfaces. The paper briefly reviews these phenomena and presents new data concerning nano-scale modifications in the multilayers.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 258, Issue 1, May 2007, Pages 199-204
Journal: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms - Volume 258, Issue 1, May 2007, Pages 199-204
نویسندگان
W.M. Arnoldbik, D. Knoesen, N. Tomozeiu, F.H.P.M. Habraken,