کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1689058 | 1011214 | 2010 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
On the geometry control of magnetic devices: Impact of photo-resist profile, shadowing effect, and material properties
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
In this paper, we described how to control the magnetic junction critical dimension (CD) and profile defined by ion beam milling and its implication to device performance. The impact of standing waves on breaking the photo-resist and on the resultant junction defects have been highlighted. The ideal device profile and geometry are also discussed.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 84, Issue 9, 19 April 2010, Pages 1075–1079
Journal: Vacuum - Volume 84, Issue 9, 19 April 2010, Pages 1075–1079
نویسندگان
Xilin Peng, Zhongyan Wang, Yongxiong Lu, Brendan Lafferty, Thomas McLaughlin, Mark Ostrowski,