کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
1689183 1011219 2010 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Development of large diameter ECR plasma source
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد سطوح، پوشش‌ها و فیلم‌ها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Development of large diameter ECR plasma source
چکیده انگلیسی

To develop ECR plasma source for industrial applications, we produced a large diameter ECR plasma and examined radial profiles of the ion saturation current as a function of pressure and power. It was found that ECR plasma uniform over 300 mm is produced for pressures higher than 1 mTorr and the electron temperature decreases with increasing pressures.

ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 84, Issue 12, 25 June 2010, Pages 1381–1384
نویسندگان
, , , , ,