کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1689183 | 1011219 | 2010 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Development of large diameter ECR plasma source
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
To develop ECR plasma source for industrial applications, we produced a large diameter ECR plasma and examined radial profiles of the ion saturation current as a function of pressure and power. It was found that ECR plasma uniform over 300 mm is produced for pressures higher than 1 mTorr and the electron temperature decreases with increasing pressures.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 84, Issue 12, 25 June 2010, Pages 1381–1384
Journal: Vacuum - Volume 84, Issue 12, 25 June 2010, Pages 1381–1384
نویسندگان
Yoshinobu Kawai, Kiichiro Uchino, Hiroshi Muta, Shinji Kawai, Tobias Röwf,