کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1689849 | 1011242 | 2009 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Epitaxial growth of MgO/TiN multilayers on Cu
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
The growth of epitaxial MgO/TiN multilayer films on (001) Cu has been investigated. In particular, epitaxial structures were grown on (001) Cu layers that were epitaxial on (001) SrTiO3. X-ray diffraction and reflection high-energy electron diffraction indicate that the multilayer structures are epitaxial on the (001) Cu surface. The motivation is the use of crystalline MgO/TiN multilayers as a diffusion barrier to both copper and oxygen. MgO/TiN multilayers are potentially useful as diffusion barriers for Cu interconnects on semiconductors as well as for superconducting wires based on the epitaxial growth of cuprate superconductors on biaxially textured copper.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 83, Issue 5, 1 January 2009, Pages 897–901
Journal: Vacuum - Volume 83, Issue 5, 1 January 2009, Pages 897–901
نویسندگان
K.H. Kim, D.P. Norton, D.K. Christen, C. Cantoni, M. Paranthaman, T. Aytug,