کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
1690207 1518977 2013 6 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Evaluation of uniformity for organic film evaporation using two dimensional different apertures
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد سطوح، پوشش‌ها و فیلم‌ها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Evaluation of uniformity for organic film evaporation using two dimensional different apertures
چکیده انگلیسی
► We examine array of two dimensional apertures of different sizes above evaporation source optimized the distance between evaporation source and substrate. ► We demonstrate uniform deposition of organic thin film using compact equipment and larger material utilization yield. ► We achieve uniformity of film for simulation and experimental results. ► Optimum distance between evaporation source and substrate is very close.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 92, June 2013, Pages 26-31
نویسندگان
, , ,