کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1690752 | 1011274 | 2012 | 16 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Field emitter-based vacuum sensors
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
The subject of this article is to review the current state of the art and the trends of the development of vacuum gauges using various types of cold-cathode electron sources (e.g. silicon field-emitter arrays, emitter arrays of the Spindt-type, carbon-based field emitters, MIM cathodes, p-n junctions). Recent progress in design and fabrication of novel vacuum pressure sensors based on field-emitter cathodes is described and discussed. The advantages and the problems of such gauges are briefly reviewed.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 86, Issue 5, 5 January 2012, Pages 556–571
Journal: Vacuum - Volume 86, Issue 5, 5 January 2012, Pages 556–571
نویسندگان
St. Wilfert, Chr. Edelmann,