کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1691503 | 1518983 | 2007 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Morphology and composition of GaN films grown by cyclic-pulsed laser deposition
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
We describe a detailed study of scanning electron microscopy (SEM) combined with energy dispersive spectroscopy (EDS) analysis to study composition and structure of 500 nm thick polycrystalline GaN samples. The films have been deposited by cyclic-pulsed laser deposition (cyclic-PLD) with a Nd:YAG nanosecond pulsed laser at 1064 nm. SEM pictures of the GaN layers revealed a structure composed of grains with typical dimensions of 200 nm. Coalescence of the grains was more evident for a 1 μm thick sample. EDS mapping of the GaN layer was performed for Ga, N, O, and Al and could be related with the corresponding SEM scan. Both EDS and XPS composition analyses pointed to a Ga rich (or N deficient) GaN layer.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 81, Issues 11â12, 28 August 2007, Pages 1524-1528
Journal: Vacuum - Volume 81, Issues 11â12, 28 August 2007, Pages 1524-1528
نویسندگان
P. Sanguino, R. Schwarz, M. Wilhelm, M. Kunst, O. Teodoro,