کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1691655 | 1011324 | 2008 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Modulated IR radiometry of (TiSi)N thin films
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
سطوح، پوششها و فیلمها
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
The thermal properties of (TiSi)N thin films deposited by dc reactive magnetron sputtering on steel have been measured using contactless modulated IR radiometry. To interpret the measured IR signals, a two-layer model has been applied, and to describe surface roughness effects related to the coatings' growth process, a three-layer model has been developed. Empirical correlations have been found between thermal transport properties and structural–physical parameters, e.g. the grain size and surface roughness of the coatings, and first correlations have additionally been found with the deposition conditions, e.g. the bias voltage.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Vacuum - Volume 82, Issue 12, 8 August 2008, Pages 1457–1460
Journal: Vacuum - Volume 82, Issue 12, 8 August 2008, Pages 1457–1460
نویسندگان
F. Macedo, F. Vaz, L. Rebouta, P. Carvalho, A. Haj-Daoud, K.H. Junge, J. Pelzl, B.K. Bein,