کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
4989336 1455972 2017 24 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Analysis of gas membrane ultra-high purification of small quantities of mono-isotopic silane
ترجمه فارسی عنوان
تجزیه و تحلیل غلظت گاز فوق العاده بالا تصفیه از مقادیر کمی از سیانان مونو ایزوتوپ
ترجمه چکیده
مقدار کمی از سیلان خام، منیزو ایزوتوپ خام، یک گاز چشمگیر برای پروسه تصفیه غشاء فوق العاده بالا و بهبودی بسیار بالا است. این یک کاربرد غیر معمول از جداسازی غشای گاز است که برای آن یک تحلیل جامع از یک مدل تصفیه ساده ارائه می کنیم. هدف این است که عبارات تحلیلی مستقیم برای برآورد امکان سنجی و کارایی روش و طراحی فرایند هدایت شود؛ این فقط برای مخلوط های دوتایی سیلان در حد رقیق است که یک مورد تا حدودی واقع گرایانه است. علاوه بر این، راه حل های تحلیلی برای بررسی راه حل های عددی به دست آمده از روش های کامپیوتری ارزشمند هستند. از این رو، در اینجا ارائه راه حل های تحلیلی جدید برای حلقه های تصفیه پیشنهاد شده است. از میان ناخالصی های معمول در سیلان خام، متان، یک چالش جداسازی غشائی خاص را ایجاد می کند زیرا از نظر شیمیایی شبیه سیلان است. سایر ترکیبات مشکوک بالقوه عبارتند از: اتیلن، دیووران و اتان (در این منظور). با این وجود ما از لحاظ تئوری نشان می دهیم که یک سیستم غشایی با دقت طراحی شده ممکن است قادر به تمیز کردن سولان منوسیتپیک، خام به سطح الکترونیک در زمان معقول و هزینه باشد. ما از ترکیبی از مواد غشایی حمایت می کنیم که به ترتیب بر اساس ناخالصی های سنگین بر اساس انتخاب قابلیت تحرک، و ناخالصی های سبک بر اساس انتخاب پذیری حلال، رد می شوند. ما تخمین ها را برای تصفیه آلاینده های مهم مورد علاقه فراهم می کنیم. در این مطالعه، به عنوان نمونه هایی از مواد غشایی، بر اساس داده های محدود نفوذپذیری موجود در ادبیات باز، پیشنهاد می کنیم استات و سلولز استات و پلییدیدیل سیلوکسان را به دست آوریم. ما با استفاده از مواد غشایی پیشنهاد شده برآوردهای مربوط به سطح غشاء مورد نیاز و حجم پرایمر محفظه سلول را برای اهداف ساخت ارائه می دهیم. این برآوردها با توجه به فقدان داده های آزمایشی قابل اعتماد برای نفوذپذیری سیلان، عمدتا نظری است. آخرین و مهمتر از همه، گسترش بعدی این کار به حد غیر رقیق شده ممکن است برای بهبود سیلان از ردیابی شده از فرآیندهای سیلیکونی نیمه رسانای طبیعی باشد.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی شیمی تصفیه و جداسازی
چکیده انگلیسی
A small quantity of high-value, crude, mono-isotopic silane is a prospective gas for a small-scale, high-recovery, ultra-high membrane purification process. This is an unusual application of gas membrane separation for which we provide a comprehensive analysis of a simple purification model. The goal is to develop direct analytic expressions for estimating the feasibility and efficiency of the method, and guide process design; this is only possible for binary mixtures of silane in the dilute limit which is a somewhat realistic case. In addition, analytic solutions are invaluable to verify numerical solutions obtained from computer-aided methods. Hence, here we provide new analytic solutions for the purification loops proposed. Among the common impurities in crude silane, methane poses a special membrane separation challenge since it is chemically similar to silane. Other potential problematic compounds are: ethylene, diborane and ethane (in this order). Nevertheless, we demonstrate, theoretically, that a carefully designed membrane system may be able to purify mono-isotopic, crude silane to electronics-grade level in a reasonable amount of time and expenses. We advocate a combination of membrane materials that preferentially reject heavy impurities based on mobility selectivity, and light impurities based on solubility selectivity. We provide estimates for the purification of significant contaminants of interest. In this study, we suggest cellulose acetate and polydimethylsiloxane as examples of membrane materials on the basis of limited permeability data found in the open literature. We provide estimates on the membrane area needed and priming volume of the cell enclosure for fabrication purposes when using the suggested membrane materials. These estimates are largely theoretical in view of the absence of reliable experimental data for the permeability of silane. Last but not least, future extension of this work to the non-dilute limit may apply to the recovery of silane from rejected streams of natural silicon semi-conductor processes.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Membrane Science - Volume 527, 1 April 2017, Pages 164-179
نویسندگان
, ,