کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5002492 | 1368454 | 2016 | 8 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Six Degree of Freedom Vibration Isolation Platform for In-Line Nano-Metrology
ترجمه فارسی عنوان
شبیه سازی آزمایشگاه جداسازی ارتعاشات برای نانو مترولوژی در خط
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
جداسازی لرزش، طراحی سیستم، نانو مترولوژی، سیستم های موقعیت یابی دقیق
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مکانیک محاسباتی
چکیده انگلیسی
A six degree of freedom, magnetically levitated metrology platform is proposed and implemented to enable nano-scale measurements directly in a production environment by providing vibration isolation. The metrology platform maintains a constant distance between sample and nano-metrology tool, forming a nano-scale laboratory environment directly in the production line. This paper presents the design of the proposed metrology platform. Tracking of the sample is achieved by using six position sensors, a six degree of freedom actuator and feedback control. Experimental results demonstrate positioning of the platform in six degrees of freedom at a bandwidth of 35 Hz in the translational directions and at a bandwidth of more than 15 Hz in the rotational directions, respectively. This results in a tracking error that is smaller than 50 nm rms. This paper denotes the first successful attempt for six degree of freedom vibration isolation to enable in-line nano-metrology.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: IFAC-PapersOnLine - Volume 49, Issue 21, 2016, Pages 149-156
Journal: IFAC-PapersOnLine - Volume 49, Issue 21, 2016, Pages 149-156
نویسندگان
Markus Thier, Rudolf Saathof, Andreas Sinn, Reinhard Hainisch, Georg Schitter,