کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5006352 1461476 2017 33 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
A theoretical study of an improved capacitive pressure sensor: Closed-form solution of uniformly loaded annular membranes
ترجمه فارسی عنوان
یک مطالعه تئوری حسگر فشار خازنی بهبود یافته: راه حل بسته به شکل یکنواختی غشاء حلقوی بارگذاری شده
کلمات کلیدی
حسگر فشار خازنی، خازن باری موازی، غشاء حلقوی، بسته از راه حل،
ترجمه چکیده
در این مطالعه، دیافراگم رسانا در سنسورهای فشار معمولی خازنی با عملکرد دوگانه (عنصر قابل تغییر شکل و صفحه الکترود فوقانی یک خازن صفحه غیرعادی) به یک ورقه نازک حلقوی غیر رسانایی (به عنوان عنصر شکل پذیر) به طور مرکزی با یک صفحه دایره ای هدایت شده و یا به صورت غیر مستقیم با یک صفحه دایره ای غیر مستقیم هدایت می شود که توسط یک فیلم نازک رسانا (به عنوان صفحه الکترود فوقانی یک خازن صفحه موازی) متصل است. این اصلاح دو مزیت را به ارمغان می آورد: خازن صفحه موازی در محاسبه دقیق خازن راحت تر از یک خازن صفحه ای غیر موازی است؛ آسانتر است که یک عنصر قابل انعطاف با رفتار انعطاف پذیر خوب در فیلمهای نازک الاستیکی غیر رسانا انتخاب شود تا این که یک عنصر قابل تغییر در دیافراگم هدایت را انتخاب کنید. این مزایا می تواند راحت تر برای بهبود عملکرد سنسور فراهم کند. راه حل بسته شده ارائه شده می تواند نیازهای تحقیق و توسعه این حسگر فشار خازنی را بهبود بخشد.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه سایر رشته های مهندسی کنترل و سیستم های مهندسی
پیش نمایش مقاله
یک مطالعه تئوری حسگر فشار خازنی بهبود یافته: راه حل بسته به شکل یکنواختی غشاء حلقوی بارگذاری شده
چکیده انگلیسی
In this study, the conductive diaphragm in conventional capacitive pressure sensors with dual function (the deformable element and the upper electrode plate of a non-parallel plate capacitor) was modified into a non-conductive elastic annular thin-film (as the deformable element) centrally connected with a conductive rigid circular plate or alternatively with a non-conductive rigid circular plate adhered by a conductive thin-film (as the upper electrode plate of a parallel plate capacitor). This modification brings two advantages: the parallel plate capacitor is more convenient in the accurate calculation of capacitance than a non-parallel plate capacitor; it is easier to select a deformable element with good elastic behavior in non-conductive elastic thin-films than to select such a deformable element in conductive diaphragms. These advantages could provide convenience for further improving the performance of sensors. The presented closed-form solution can meet the needs of the research and development of this improved capacitive pressure sensor.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Measurement - Volume 111, December 2017, Pages 84-92
نویسندگان
, , , , , ,