کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5014212 | 1369382 | 2016 | 14 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Size dependent fracture strength and cracking mechanisms in freestanding polycrystalline silicon films with nanoscale thickness
ترجمه فارسی عنوان
استحکام شکست شکستگی و مکانیسم ترک خوردگی در فیلم های سیلیکونی پلی کریستالی با ضخامت نانومقیاس
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
سیلیکون پلی کریستالی، فیلم نازک، تست کششی، مکانیزم شکستگی، اثر اندازه،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
سایر رشته های مهندسی
مهندسی مکانیک
چکیده انگلیسی
The size dependent fracture strength and fracture mechanisms of polycrystalline silicon films are investigated by analyzing a wide range of specimen lengths and widths with thicknesses equal to 240 and 40Â nm. An on-chip method is used to deform the films and to determine the strength. The strength increases with decreasing external surface area. The thinnest films exhibit the lowest strength and a weaker size effect. The crack path changes from transgranular to intergranular with decreasing thickness. These results are related to differences in microstructure and surface roughness characteristics of the films as controlled by the fabrication process and thickness.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Engineering Fracture Mechanics - Volume 168, Part A, December 2016, Pages 190-203
Journal: Engineering Fracture Mechanics - Volume 168, Part A, December 2016, Pages 190-203
نویسندگان
R. Vayrette, M. Galceran, M. Coulombier, S. Godet, J.-P. Raskin, T. Pardoen,