کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5019104 1467839 2017 56 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Ultraprecision surface flattening of porous silicon by diamond turning
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه سایر رشته های مهندسی مهندسی صنعتی و تولید
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Ultraprecision surface flattening of porous silicon by diamond turning
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Precision Engineering - Volume 49, July 2017, Pages 262-277
نویسندگان
, ,