کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5346898 | 1503551 | 2017 | 21 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Depth resolved compositional analysis of aluminium oxide thin film using non-destructive soft x-ray reflectivity technique
ترجمه فارسی عنوان
عمق تجزیه و تحلیل ترکیبات نازک اکسید آلومینیوم را با استفاده از تکنیک انعکاسی غیر اشباع نرم اشعه ایکس حل و فصل کرد
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
اکسید آلومینیوم، فیلم نازک، بازتابنده اشعه ایکس نرم. طیف سنجی فوتوالکترون اشعه ایکس، مشخصات شاخص نوری،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
چکیده انگلیسی
In-depth compositional analysis of 240Â Ã
thick aluminium oxide thin film has been carried out using soft x-ray reflectivity (SXR) and x-ray photoelectron spectroscopy technique (XPS). The compositional details of the film is estimated by modelling the optical index profile obtained from the SXR measurements over 60-200Â Ã
wavelength region. The SXR measurements are carried out at Indus-1 reflectivity beamline. The method suggests that the principal film region is comprised of Al2O3 and AlOx (x = 1.6) phases whereas the interface region comprised of SiO2 and AlOx (x = 1.6) mixture. The soft x-ray reflectivity technique combined with XPS measurements explains the compositional details of principal layer. Since the interface region cannot be analyzed with the XPS technique in a non-destructive manner in such a case the SXR technique is a powerful tool for nondestructive compositional analysis of interface region.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 419, 15 October 2017, Pages 311-318
Journal: Applied Surface Science - Volume 419, 15 October 2017, Pages 311-318
نویسندگان
Mangalika Sinha, Mohammed H. Modi,