کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5347902 | 1503600 | 2016 | 31 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Numerical investigation of sputtering power effect on nano-tribological properties of tantalum-nitride film using molecular dynamics simulation
ترجمه فارسی عنوان
بررسی عددی اثر قدرت تفکیک کننده بر خواص نانو تریبولوژیکی فیلم تانتالم-نیترید با استفاده از شبیه سازی دینامیک مولکولی
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
نیترید تانتالیم، خشونت، شبیه سازی دینامیک مولکولی، قدرت تفکیک،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
چکیده انگلیسی
- Surface roughness variation reaches to a minimum with increasing power density and then starts to increase.
- Increasing deposition rate leads to harder surface diffusion and less kinetic energy.
- Increasing the incident energy increases the kinetic energy and hence reduces surface diffusion.
- Harder surface diffusion and less kinetic energy of atoms cause the surface to roughen.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 367, 30 March 2016, Pages 197-204
Journal: Applied Surface Science - Volume 367, 30 March 2016, Pages 197-204
نویسندگان
S.S. Firouzabadi, K. Dehghani, M. Naderi, F. Mahboubi,