کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5348051 1503602 2016 11 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Different methods to alter surface morphology of high aspect ratio structures
ترجمه فارسی عنوان
روش های مختلفی برای تغییر شکل مورفولوژیکی سطح ساختار نسبت ابعاد بزرگ
کلمات کلیدی
ترجمه چکیده
مهندسی سطح سازه های سیلیکونی نسبتا بالا.
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش مقاله
روش های مختلفی برای تغییر شکل مورفولوژیکی سطح ساختار نسبت ابعاد بزرگ
چکیده انگلیسی
Surface engineering of high aspect ratio silicon structures.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 365, 1 March 2016, Pages 180-190
نویسندگان
, , , , , ,