کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5348840 1503636 2015 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Probing initial-stages of ALD growth with dynamic in situ spectroscopic ellipsometry
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Probing initial-stages of ALD growth with dynamic in situ spectroscopic ellipsometry
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 328, 15 February 2015, Pages 344-348
نویسندگان
, ,