کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5349881 | 1503652 | 2014 | 21 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Structural and electrical characterization of diamond films deposited in nitrogen/oxygen containing gas mixture by linear antenna microwave CVD process
ترجمه فارسی عنوان
مشخصه ساختاری و الکتریکی فیلم های الماسی که در مخلوط گاز نیتروژن / اکسیژن حاوی گاز با فرکانس آنالایزر مایکروویو خطی ذخیره می شود
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
چکیده انگلیسی
In this paper we demonstrate the large area deposition of n-type conductive nanocrystalline diamond thin films on p-type Si substrates. We show that adding N2 into CH4/H2/CO2 gas mixture allows a wide controlling of diamond film morphology from micro- to nanocrystalline, blockstone-like or porous-like morphology potentially suitable for various applications. Moreover, after adding we found that the diamond films revealed a deep level with activation energy of 0.44 ± 0.03 eV.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 312, 1 September 2014, Pages 226-230
Journal: Applied Surface Science - Volume 312, 1 September 2014, Pages 226-230
نویسندگان
Marian Vojs, Marian Varga, Oleg Babchenko, Tibor Ižák, Miroslav MikoláÅ¡ek, Marián Marton, Alexander Kromka,