کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5350608 | 1503632 | 2015 | 10 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Polymer masks for structured surface and plasma etching
ترجمه فارسی عنوان
ماسک های پلیمری برای اشک شدن سطح و پلاسما ساختار یافته
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
پلیمر مخلوط می شود قالب، مواد معدنی، فیلم نازک، اشک پلاسما،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
چکیده انگلیسی
- Sub-micrometric silicon structures were prepared by cryogenic plasma etching.
- Polymer templates based on phase-separated films of PS/PLA were used.
- Silica structured masks were prepared by filling the polymer templates.
- Etching of underlying silicon through silica templates gave original structures.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 332, 30 March 2015, Pages 237-246
Journal: Applied Surface Science - Volume 332, 30 March 2015, Pages 237-246
نویسندگان
Alexane Vital, Marylène Vayer, Christophe Sinturel, Thomas Tillocher, Philippe Lefaucheux, Rémi Dussart,