کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5350935 1503556 2017 38 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Nd3+-doped colloidal SiO2 composite abrasives: Synthesis and the effects on chemical mechanical polishing (CMP) performances of sapphire wafers
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Nd3+-doped colloidal SiO2 composite abrasives: Synthesis and the effects on chemical mechanical polishing (CMP) performances of sapphire wafers
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 413, 15 August 2017, Pages 16-26
نویسندگان
, ,