کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5351932 1503582 2016 34 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Experimental investigation of photoresist etching by kHz AC atmospheric pressure plasma jet
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Experimental investigation of photoresist etching by kHz AC atmospheric pressure plasma jet
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 385, 1 November 2016, Pages 191-198
نویسندگان
, , , ,