دانلود رایگان مقاله ISI : تأثیر فرآیند نازک سازی سیفیر بر روی نقص های سطح (زیر)

Influence of Si wafer thinning processes on (sub)surface defects

Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 404, 15 May 2017, Pages 82-87

Fumihiro Inoue, Anne Jourdain, Lan Peng, Alain Phommahaxay, Joeri De Vos, Kenneth June Rebibis, Andy Miller, Erik Sleeckx, Eric Beyne, Akira Uedono,