کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5353611 1503580 2016 9 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Very high frequency plasma reactant for atomic layer deposition
ترجمه فارسی عنوان
واکنش دهنده پلاسما با فرکانس بسیار بالا برای رسوب لایه اتمی
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش مقاله
واکنش دهنده پلاسما با فرکانس بسیار بالا برای رسوب لایه اتمی
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 387, 30 November 2016, Pages 109-117
نویسندگان
, , , , , , , , , , ,