کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5353786 1503698 2013 7 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Investigations on opto-electronical properties of DC reactive magnetron sputtered zinc aluminum oxide thin films annealed at different temperatures
ترجمه فارسی عنوان
بررسی خواص اپتو الکترونی از ورق های نازک اکسید آلومینیوم روی مگنتن واکنش پذیر دی اکسید کربن در دماهای مختلف
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
چکیده انگلیسی
▸ ZAO films were prepared by DC reactive magnetron sputtering method by two individual high purity metallic targets of Zn and Al. ▸ Sputtering deposition conditions were optimized to exhibit a good surface roughness for light scattering and low resistivities. ▸ A low resistivity of 2.18 × 10−4 Ω cm and mobility of 46 cm2 V−1 s−1 obtained for ZAO film annealed at 400 °C.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 265, 15 January 2013, Pages 169-175
نویسندگان
, ,