کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5353821 | 1503698 | 2013 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Mechanical stresses in silicon carbonitride films obtained by PECVD from hexamethyldisilazane
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
⸠Mechanical stresses in PECVD silicon carbonitride films are mainly intrinsic. ⸠Volume changes in growing film correlate with PECVD mechanism. ⸠CTE and Young's modules of silicon carbonitride films are calculated.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 265, 15 January 2013, Pages 385-388
Journal: Applied Surface Science - Volume 265, 15 January 2013, Pages 385-388
نویسندگان
V.R. Shayapov, Yu.M. Rumyantsev, A.A. Dzyuba, B.M. Ayupov, N.I. Fainer,