کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5354581 1503596 2016 11 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Low thermal budget for Si and SiGe surface preparation for FD-SOI technology
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Low thermal budget for Si and SiGe surface preparation for FD-SOI technology
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 371, 15 May 2016, Pages 436-446
نویسندگان
, , , , ,