کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5354595 1503596 2016 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Evaluation of residual stress in sputtered tantalum thin-film
ترجمه فارسی عنوان
بررسی استرس باقی مانده در فیلم نازک تانتالیوم اسپری
کلمات کلیدی
تانتالیم، پرتقال، استرس باقی مانده، انلینگ، بمباران یون
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش مقاله
بررسی استرس باقی مانده در فیلم نازک تانتالیوم اسپری
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 371, 15 May 2016, Pages 571-575
نویسندگان
, , ,