کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5354737 | 1388180 | 2012 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Adsorption and surface reaction of bis-diethylaminosilane as a Si precursor on an OH-terminated Si (0Â 0Â 1) surface
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
⺠Initial reaction mechanism between BDEAS and Si (0 0 1) surface was investigated. ⺠Adsorption configuration affects adsorption energy and reaction energy barrier. ⺠Adsorption energy should be higher than reaction energy barrier for ALD reaction.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 258, Issue 17, 15 June 2012, Pages 6341-6344
Journal: Applied Surface Science - Volume 258, Issue 17, 15 June 2012, Pages 6341-6344
نویسندگان
Seung-Bin Baek, Dae-Hee Kim, Yeong-Cheol Kim,