کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
5354737 1388180 2012 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Adsorption and surface reaction of bis-diethylaminosilane as a Si precursor on an OH-terminated Si (0 0 1) surface
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه شیمی شیمی تئوریک و عملی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Adsorption and surface reaction of bis-diethylaminosilane as a Si precursor on an OH-terminated Si (0 0 1) surface
چکیده انگلیسی
► Initial reaction mechanism between BDEAS and Si (0 0 1) surface was investigated. ► Adsorption configuration affects adsorption energy and reaction energy barrier. ► Adsorption energy should be higher than reaction energy barrier for ALD reaction.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Applied Surface Science - Volume 258, Issue 17, 15 June 2012, Pages 6341-6344
نویسندگان
, , ,